193 nm激光器(UC)
肖征莲
13631257497
海琴4号楼 C206
大激光剥蚀系统
肖征莲
13631257497
海琴4号楼 C206
193 nm激光器(HE)
钟立峰
13450215679
海琴4号楼 C206
飞秒激光器
韦武
18381069211
海琴4号楼 B234
飞秒激光剥蚀平台
韦武
18381069211
海琴4号楼 B234
广泛可调谐高功率连续波激光系统
隋琪
18320001248
海琴4号楼 D401