主要规格及技术指标

激光能量密度＞15 J/cm2@样品表面
激光脉冲宽度：4 ns
脉冲频率：1-200 Hz，步进1 Hz连续可调
剥蚀效果：轮廓清晰，直壁，底部平坦
束斑大小：1-150 μm，步进1 μm连续可调
样品池100×100 mm，可放置9个标准激光靶和不规则样品

主要附件及配置

无

主要功能及特色

锆石、石榴石、金红石、磷灰石等单矿物微区原位剥蚀进样