主要规格及技术指标

1.放大倍率：10倍～100000倍 2.加速电压：可选电压20kV、15kV、10kV、5kV 3.样品移动范围：X=0-40mm、Y=0-35mm 4.探测器类型：二次电子检测器，背散射电子检测器 5.真空模式：导电模式、标准模式，消除荷电模式 6.可放置最大样品尺寸：80mm（直径），50mm（厚度） 7.元素能谱仪：电制冷探测器，B5-U92，能量范围Mn-Ka 优于129eV

主要附件及配置

无

主要功能及特色

采用不同的信息检测器，可观察样品形貌像、成分衬度像、阴影像、凹凸3D像，从而获取被测样品本身的形貌、组成、晶体结构等各种物理、化学特征信息。