主要规格及技术指标

1. X方向最大行程：±130mm，分辨率0.25μm，速度0.002~10mm/s连续可调； 2. Z方向最大行程：≥140mm，分辨率0.5μm，速度0.002~10mm/s连续可调； 3. 大量程传感器：Fx~Fz加载范围5~500N，分辨率25mN； 4. 小量程传感器：Fx~Fz加载范围0.2~20N，分辨率1mN； 5. 电化学腐蚀模块：电流范围1μA~1A，电流分辨率10nA；电压范围200mV至10V，电压分辨率6.1μA； 6. 高速线性往复运动模块：0.1mm~25mm，速度0.1~60Hz；20Hz@25mm，40Hz@12.5mm，60Hz@2mm；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

检测各种材料、薄膜涂层等材料的摩擦力、摩擦系数、负载、磨损量等参数