主要规格及技术指标

1. 分辨率：点分辨率0.23nm，线分辨率0.1nm，STEM DF分辨率0.16nm，信息分辨率0.12nm，二次电子图像分辨率1nm；
2. 加速电压：20kV~200kV；
3. 最大放大倍数：2000000倍；
4. 样品台移动范围：X方向2mm，Y 方向2mm，Z 0.4方向mm，最大倾角 +35°；
5. 能谱立体角0.98sr，元素分析范围B（5）~U（92），分辨率133eV

主要附件及配置

无

主要功能及特色

对金属、矿物、半导体、陶瓷、生物、高分子、复合材料、催化剂等材料进行微观形貌、晶体结构、晶体缺陷、晶粒晶向及成份分析