主要规格及技术指标

1、元素分析范围：WDS B至U，EDS Be至U；2、X射线检测范围：WDS波长检测范围 0.087-9.3nm， WDS能量检测范围20keV；3、X射线分光谱仪4道，分别配置PETJ/LIF、TAP/LDEI、PETH/LIFH、TAP/LDE2分光晶体；4、探针加速电压范围：0.2-30kV（0.1kV步进）；5、探针电流范围：1pA-10uA；6、二次电子图像分辨率：6nm(钨灯丝）。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

JXA-iSP100钨灯丝电子探针显微分析仪配备1台能谱仪和4道波谱仪，可对特定元素的特征x射线进行波长和能量强度检测，具备点、线、面扫描分析功能。同时，该仪器还配备有二次电子探测器和背散射电子探测器，能够获得二次电子图像、背散射电子图像，同步实现微区内元素化学组成分析和图像分析。