主要规格及技术指标

1. 样品台移动范围：X和Y台可移动范围≤250mm×150mm，分辨率100nm；Z台行驶范围50mm，分辨率3nm；
2. 纳米压痕模块：最大载荷≤10mN，载荷分辨率≤1nN，最小接触力≤70nN，最大位移≥5μm，位移分辨率：≤0.006nm；
3. 纳米划痕模块：最大横向载荷力2mN，横向载荷分辨率＜50nN，横向位移分辨率: ≤0.02nm；
4. SPM原位扫描成像：分辨率32px~4096px，X、Y扫描范围≥ 60µm×60µm；
5. 动态力学测试模块：频率范围≥0.1Hz-300Hz，最大动态振幅力≥5mN，最大准静态力：≥10mN；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

纳米尺度下的物理力学性能测试 可对包括有机高分子材料在内的固体材料和薄膜材料进行连续动态载荷下纳米硬度、弹性模量、纳米划痕、摩擦系数、屈服强度以及界面结合力的测试