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激光直写仪
激光直写仪
仪器编号
2023010502
型号规格
Heidelberg Instruments
生产厂家
Heidelberg Instruments MikrotechnikGmbH
购置日期
2023-11-17
制造国家
德国
仪器负责人
隋琪
放置地点
海琴4号楼D401
联系方式
18320001248
主要规格及技术指标
1.激光器：波长405nm，能量≥300mW
2.有效光刻面积：≥200*200mm2
3.描绘网格或数据分辨率：≤10nm
4.套刻对准精度：≤110nm
5.线宽：≤0.6um
6.线宽均匀性：≤70nm
7.线宽斜边粗糙度：≤60nm
8.光绘速度：≥13mm2/min
主要附件及配置
无
主要功能及特色
用于光学芯片加工
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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