1. 分辨率:1.0 nm(15 kV), 1.6 nm(1 kV), 2.0 nm(30 kV);2. 加速电压0.02-30 kV;探针电流:3pA-20 nA;3. 最快扫描速度:50 rs/像素;
无
高分辨率的二次电子、背散射电子拍照,用于观察微米级、纳米级试样形貌、结构等。