主要规格及技术指标

3.1离子枪：潘宁式离子枪，采用环形永磁体聚焦方式，聚焦均匀，使用过程中无需额外耗材，离子枪数目不少于2个； 3.2 离子束能量：最高不高于10 keV，可在不同电压下自动优化离子束束流； 3.3 离子枪角度：最大抛光角度不小于18°，每只离子枪可独立调节；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

具有截面切割及平面抛光功能；可对金属靶件的目标区域进行切割和抛光，有效清除目标区域在制备过程中产生的金属残留，以供二次离子质谱仪、扫描电镜和电子探针进行观察和分析。