1. 垂直分辨率:<0.01 Ra; 2. 垂直方向单次测量量程:≥10mm; 3. 垂直扫描速度:≥37μm/s; 4. 倾斜调制范围:≥5°; 5. XY样品台移动范围:≥150mm×150mm; 6. CCD:像素≥500万,阵列≥1200 x 1000
无
对各种固体材料进行二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算