主要规格及技术指标

1. 放大倍率范围：5~1000000倍，连续可调； 2. 加速电压0.2~30kV，最大束流2μA，连续可调； 3. 分辨率：3nm@30kV，8nm@3kV； 4. 分析元素范围：Be（4）~U（92）号元素，能量分辨不低于129eV； 5. 最大样品尺寸：高度128mm（分析工作距离10mm）；样品台承载10kg； 6. 样品台可移动范围：X 120mm，Y 120mm，Z 55mm，R 0~360（连续旋转），T -15~+90度； 7. 大面积二维图像拼接功能

主要附件及配置

无

主要功能及特色

微观形貌观察，微区成分分析