主要规格及技术指标

1.具备XYZ三轴探针扫描的扫描器2.XY方向扫描范围不小于90微米；乙方向扫描范围不小于10微米 3.扫描器乙方向实际测试噪声水平：开环控制下，小于 0.03nm（RMS）；XY方向实际测试噪声水平：开环控制下，不高于0.1nm（RMS） 4.液体中智能扫描模式 5.提供高精度定量纳米力学测试模式 6.具备电化学原子力显微镜模式 7.提供纳米尺度扫描电化学显微镜功能 8.样品台尺寸210mm；样品高度不低于15mm；样品台自动移动XY行程不低于160×150mm，最大承重≥5Kg

主要附件及配置

无

主要功能及特色

用于材料纳米级分辨率的表面结构分析