1.飞秒激光器:功率10W,重复频率1MHz,脉冲宽度290fs~10ps,脉冲能量0.4mJ,波长1030nm2.位移台行程:200×100×60mm3.位移台精度:X轴±400nm,Y轴±200nm,Z轴±275nm4.物镜镜头:10X~100X共5组
无
用于高精度光学三维波导加工