主要规格及技术指标

Cs+离子在样品表面的束斑最小尺寸：≤50 nm；O-离子在样品表面的束斑最小尺寸：≤50 nm；对硅片进行Si同位素比值分析，内部精度≤0.6‰，外部精度≤1.5‰；对石英的氧同位素比值分析，内部精度≤1.2‰

主要附件及配置

无

主要功能及特色

对固体样品、微小颗粒进行原位同位素、微量元素分析，可对一定区域内样品的元素或同位素分布进行扫描成像。